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關(guān)鍵突破！中國電科48所8英寸碳化硅外延設(shè)備再升級(jí)
來源：新聞中心
發(fā)布時(shí)間：2024年09月06日 編輯：新聞中心
近日，中國電科48所自主研發(fā)的8英寸碳化硅外延設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)再獲突破。
碳化硅外延爐是第三代半導(dǎo)體碳化硅器件制造的核心裝備之一。此次“全新升級(jí)”的8英寸碳化硅外延設(shè)備，具備更快、更好、更穩(wěn)定的特點(diǎn)，通過改進(jìn)激光視覺定位、晶圓自糾偏等技術(shù)，設(shè)備自動(dòng)化性能更加成熟，提升產(chǎn)品生產(chǎn)效率。設(shè)備還成功引入新的摻雜技術(shù)，進(jìn)一步提升產(chǎn)品良率，持續(xù)降低生產(chǎn)成本。
未來，48所將持續(xù)加強(qiáng)關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，聚焦產(chǎn)業(yè)鏈重點(diǎn)環(huán)節(jié)補(bǔ)鏈固鏈強(qiáng)鏈，推動(dòng)形成產(chǎn)學(xué)研緊密合作、上下游鏈條打通的協(xié)同創(chuàng)新局面，為我國第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高水平科技自立自強(qiáng)貢獻(xiàn)“裝備力量”。
